系统介绍
系统集成自动配液与酸液处理模块,采用高纯无杂液路系统,并具备管路自动清洗功能,可有效防止交叉污染。平台采用耐酸腐蚀工作台结构,适用于强酸环境操作。
高度自动化
全流程自动化操作,减少人工干预,提高检测效率和一致性,降低人为误差。
稳定可靠
采用高品质元器件和精密控制系统,确保长时间稳定运行,检测结果可靠。
高纯无杂液路
特殊设计的液路系统,避免污染,确保检测结果的准确性和可靠性。
管路自动清洗
智能清洗程序,有效防止交叉污染,保证每批次样品检测的独立性和准确性。

系统构成
系统由多个功能模块组成,协同工作完成材料成分的自动化检测流程
溶液成分检测站
核心检测模块,集成高精度分析仪器,可对溶液中的金属杂质含量进行精确测定,检测限可达ppb级别。系统具备自动校准和质量控制功能,确保检测结果的准确性和可靠性。
检测精度:ppb级别
多元素同时分析
自动校准功能
数据自动记录与分析
应用领域
可应用于半导体硅材料、光伏硅片、金属粉末及功能材料的质量控制、原料筛选与过程监测,是提升材料纯度控制水平、支撑高端制造质量保障的关键检测装备。